Откачной пост ПВС 150/63
Технологии современного производства часто требуют создания высокого вакуума для выполнения тех или иных производственных задач. Как пример, вакуум неразрывно связан с производством электронных компонентов. Современное литографическое оборудование работает с высоким вакуумом, процессы молекулярно-пучковой эпитаксии и получение наноструктур (в частности, графена) возможно лишь при достижении сверхвысокого вакуума.
В этой связи встаёт вопрос, как получить высокий и сверхвысокий вакуум? Современная наука и техника имеет ответ на этот вопрос. Турбомолекулярные насосы способны создавать разряжение до 10^(−8) Па (10^(−10) мм рт. ст.). Столь высокий вакуум позволяет решать практически все современные производственные и научные задачи. К примеру, такого вакуума вполне достаточно для работы БАК (Большой адронный коллайдер).
Именно такой турбомолекулярный насос (ТМН 150/63) используется в вакуумном откачном посте ПВС 150/63. Высокопроизводительный ТМН создаёт разряжение порядка 10^(-5)-10^(-6) Па, а для создания форвакуума и работы в паре с ТМН применяется пластинчато-роторный насос, либо сухой спиральный насос, в зависимости от решаемых задач.
Вакуумный пост имеет современную электронную базу и програмное обеспечение. Может быть включен автоматизированные системы. Простое ручное управление и наличие автоматического режима. Наличие электро-пневмо клапанов и возможности управления их работой обеспечивают реализацию множества задач.
Область применения
Ускорители элементарных частиц, ядерные исследования, производство электровакуумных и полупроводниковых приборов, атомная и ракетно-строительнаяпромышленности, авиация, фармацевтика, пищевая промышленность.
Технические характеристики
|
Наменование |
Характеристика |
|
Группа климатического исполнения |
УХЛ.4.2 |
|
Группа механических воздействий |
М21 |
|
Напряжение питания |
220 В, 50 Гц. |
|
Потребляемая мощность (не более) |
400 ВА |
|
Тип форвакуумного насоса |
ISP-90 / Telstar 2F-10 |
|
Тип турбомолекулярного насоса |
ТМН 150/63 |
|
Предельное остаточное давление, создаваемое насосом, Па, не более:
- после прогрева корпуса при температуре 100°С (373К) в течение 24ч и при форвакуумном
давлении не более 1,3 Па,
- без прогрева
|
1,3*10-6
1,3*10-4 |
|
Время достижения предельного остаточного давления
При отсутствии потоков натекания и потоков газовыделения более 7*10- |
20 мин. |
|
Группа электробезопасности |
Класс I |
|
Блокировка ТМН по форвакуумному давлению |
* исполнение по заказу |
|
Индикация давления в объекте |
* исполнение по заказу |
|
Тип присоединительного фланца ТМН |
ISO K DN63 |
|
Габаритные размеры корпуса |
507х400х340 мм |
|
Индикация параметров работы поста на внешний ПК |
есть |


