Турбомолекулярные насосы

Инженеры ОАО "Завод "Измеритель" ведут разработки по созданию отечественного турбомолекулярного гибридного насоса.

ТМН - это высоковакуумный безмасляный насос.  Нововведением в современной конструкции насоса является использование импортных подшипников с наивысшим классом точности P4.

Гибридный ТМН позволяет снизить требования к форвакуумному насосу, обеспечивая работу на более высоком давлении на входе. Например, с ГТМН возможно использование одноступенчатых пластинчато-роторных форвакуумных насосов.

Подшипники для ТМН были подобраны по следующим критериям:
1) Радиально-упорный подшипник, угол 15 градусов.
2) Схема работы подшипников Face-to-Face, 2 подшипника на роторе.
3) Внутренний диаметр 8мм, внешний диаметр 22мм, толщина 7мм
4) Максимально высокий класс точности
5) Число оборотов - 50 000 - 60 000 об/мин

Технические характеристики ТМН и ТМГН приведены в таблице ниже. 

Технические характеристики	ТМН-150/63	ТМН-50/63	ТМГН-50/63
Скорость откачки по азоту, л/с	150	50	55
Скорость откачки по гелию, л/с	60	48	51
Предельное остаточное давление, не более, Па	1,3x10-4	6x10-4	5x10-6
Номинальная частота вращения ротора, об/мин	42 000	42 000	50 000
Время разгона ротора, не более, мин	4,5	3	2
Входной присоединительный фланец, мм	ISO-K63	ISO-K63	DN63ISO-K
Выходной присоединительный фланец, мм	ISO-KF16	ISO-KF16	DN16NW
Рабочее положение	любое
Охлаждение	воздушное
Температура эксплуатации, 0С*	(+10)÷(+35)
Габаритные размеры, мм	140х153х167	133x143x167	148х135х167
Масса насоса, кг	4,5	2,7	2,85

Другим преимуществом новой конструкции турбомолекулярных насосов производства завода Измеритель является использование современных NeFeB-магнитов с присадками, повышающими диапазон рабочих температур.

ТМН представляет собой многоступенчатый осевой компрессор, роторные и статорные ступени которого снабжены плоскими наклонными вдоль радиуса лопатками. При вращении роторных ступеней с высокой скоростью происходит откачка молекул газа из-за их различной вероятности перехода через наклонные каналы ступеней в прямом и обратном направлениях. На фотографии справа показана конструкция лопаток в насосе Завода Измеритель.

Данный насос используется в вакуумной системе откачного поста ПВС-150/63.

 

Тип исполнения	ТМН-150/63	ТМН-50/63	ТМГН-50/63
Срок изготовления	от 30 до 45 дней
Стоимость, руб./шт.	по запросу