Автоматические спектральные эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A
Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A - это 3 модели для работы с образцами d 150, 200 и 300 мм.
Функции автофокуса и авто-построения карты предметного R-θ столика позволяют измерять толщину всей поверхности образца и отображать ее распределение в виде информативной цветной карты.
Так же возможно измерение многослойных структур. Дополнительные функции и аксессуары включают построение карты в высоком 2000-пиксельном разрешении, 3D отображение и камеру для наблюдения.
Автоматические эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A – это высокоскоростные спектральные эллипсометры для быстрого измерения распределения толщины и оптических параметров тонких пленок, применяющие метод моментального снимка с автоматическим составлением карты покрытия, и позволяющие получать точные результаты измерений.
Данная серия широко применяется как в научно-исследовательских и опытно-конструкторские работах, так и в технологическом контроле в серийном и массовом производстве.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «Лаборатория ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».