Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
Компактная версия квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM обеспечивает высокую точность и разрешающую способность даже при относительно высоких давлениях (до 1 Па).
• Этот анализатор идеально подходит для контроля состава газовой фазы систем распыления
• Не требуется дифференциальная система откачки
Дифференциальная система откачки не нужна при давлениях от 1 Па (7,5×10-3 Торр, 1×10-2 мбар) или ниже
• Встроенный экран - для управления не нужен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя