Виды вакуумных клапанов, предлагаемых компанией ООО «Вактрон»:
Манометром называют прибор для измерения давления газа или жидкости. Приборы для измерения давления ниже атмосферного называются вакуумметрами. Диапазон давлений, которые имеют место в вакуумной технике, составляет семнадцать порядков: от атмосферного до 10-12 Па.
Величина диапазона настолько значительна, что его измерение одним типом вакуумметра невозможно. Разработано большое количество типов вакуумметров, работающих в своём диапазоне, определяемом физикой преобразования давления.
Встраиваемая модель Ulvac Unecs-1M обладает малыми габаритами и позволяет реализовать в комплексной системе такие функции эллипсометрических измерений, как:
• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов
• Анализ состояния поверхности и структуры
Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M - это легкая и компактная модель, разработанная для встраивания в различные системы, подходящая для измерений и в вакууме, и при атмосферном давлении.
Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A - это 3 модели для работы с образцами d 150, 200 и 300 мм.
Функции автофокуса и авто-построения карты предметного R-θ столика позволяют измерять толщину всей поверхности образца и отображать ее распределение в виде информативной цветной карты.
Так же возможно измерение многослойных структур. Дополнительные функции и аксессуары включают построение карты в высоком 2000-пиксельном разрешении, 3D отображение и камеру для наблюдения.
Автоматические эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A – это высокоскоростные спектральные эллипсометры для быстрого измерения распределения толщины и оптических параметров тонких пленок, применяющие метод моментального снимка с автоматическим составлением карты покрытия, и позволяющие получать точные результаты измерений.
Данная серия широко применяется как в научно-исследовательских и опытно-конструкторские работах, так и в технологическом контроле в серийном и массовом производстве.
Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.
Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.
Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.
Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:
Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.
Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.
Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.
Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable
Компания Вактрон представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.
Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
• Высокоскоростное измерение
Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.
• Видимая область спектра
Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.
• Компактный сенсор
Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.
• Широкая приборная серия
Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
К анализаторам остаточных газов серии Qulee компания ULVAC предлагает большое количество дополнительных аксессуаров.
Перечень аксессуаров для Ulvac Qulee
Ulvac Qulee QCS - это пакет ПО для анализа и контроля газовой среды, созданный японской компанией ULVAC. Qulee QCS подходит для всех квадрупольных газовых спектрометров компании ULVAC. Более старое ПО может быть обновлено до этой версии QCS. Получение и сохранение информации осуществляется просто и понятно.
• QCS - это стандартное ПО для серии устройств анализа остаточных газов Qulee
Подходит для всей серии Qulee (Windows 7, 8)
• Простое управление
Интуитивно-понятное управление с использованием кнопок быстрого доступа
• Различные режимы измерения
Режим сканирования, режим тенденции, режим проверки на герметичность, аналоговый режим
• Функция проверки на герметичность
Простая проверка на герметичность путём использования гелия
Безмасляная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.
• Разработан для работы в составе систем травления и химического осаждения из газовой фазы
• Закрытый ионный источник с использованием магнитного поля. Мягкая ионизация создаёт меньшую газовую диссоциацию и позволяет обеспечить более высокую чувствительность. В ионизационной камере распад и абсорбция из-за термических реакций сведены к минимуму
• Малое расстояние между технологической камерой и источником ионов позволяет получить быстрый отклик
• Подходит для динамического контроля процессов
• Доступен широкий диапазон рабочих давлений от 1×10-6 до 13 кПа (от 7,5×10-9 до 97,5 Торр, от 1×10-8 до 130 мбар)
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «Лаборатория ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».
Программа является подготовительным курсом к аттестации персонала в области контроля герметичности по требованиям РОСТЕХНАДЗОР (СДАНК-01-2020, СДАНК-02-2020) и РОСАТОМ ГОСТ Р 50.05.01-2018, ГОСТ Р 50.05.11-2018. По результатам обучения сотрудник получает удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Курс проводится согласно лицензии на образовательную деятельность №1103.
Проводимый экзаменационный контроль может быть учтен аттестационным центром для выдачи удостоверения на право подготовки заключений о контроле герметичности. Курс на практике подготовит к квалифицированной эксплуатации и обслуживанию современного вакуумного оборудования: масс-спектромерических течеискателей, вакуумных насосов, вакуумметров, а также к проведению работ по вакуумированию и испытаний на герметичность.
Занятия будут проходить в очной форме в отеле «Новый Петергоф», Санкт-Петербург, Петергоф, Санкт-Петербургский проспект, 34. Необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
+78127150017
