Сервисное обслуживание гелиевых масс-спектрометрических течеискателей в России: регламент, диагностика, поверка

Сервис гелиевых течеискателей — это не разовая операция замены расходников, а полноформатная технологическая процедура, обеспечивающая воспроизводимую чувствительность, стабильный нулевой уровень, корректное время отклика и метрологическую прослеживаемость результатов. Компания «Ликлаб» выполняет техническое обслуживание и восстановительный ремонт течеискателей настольного, передвижного и встраиваемого исполнения, настраивает приборы под фактические условия эксплуатации Заказчика и организует поверку в аккредитованных центрах после любых работ, влияющих на метрологические характеристики.

 

Номенклатура обслуживаемых приборов и совместимость методик

Практикуются работы с современными сериями и зарегистрированными в государственном реестре СИ моделями, применяемыми на российском рынке: INFICON UL1000/UL1000Fab/UL5000, LDS3000 и Modul1000; Leybold PHOENIX L300i, Quadro/Quadro dry/Magno/Magno dry/Vario; Pfeiffer HLT570 и семейство ASM (включая ASM 310); Agilent VS (в т.ч. G861xx); ULVAC HELIOT 900; Shimadzu MSE; отечественные ТИ1-50, ТИ1-50И, ТИ1-50М «ГелиТест», а также Гелископ-1, LX218, ZQJ-Vactron, NHJ-600, T-34 и ряд других модификаций. Методики обслуживания и контрольные испытания адаптируются к конструктиву конкретного прибора, типу насосной системы, схеме анализатора и используемым режимам течеискания (вакуум-камерный, щуповой, накопительный).

Модель оказания услуг «Ликлаб»

Работы выполняются по месту эксплуатации либо на сервисной базе. На этапе входного контроля фиксируются серийные номера, наработка, версия прошивки, конфигурация трактов, состояние насосов и фактический фон. Формируется техническая программа: периодическое ТО, восстановительный ремонт с заменой узлов, капитальное обслуживание с разборкой вакуумного блока и полной ревизией уплотнений. По завершении каждого этапа проводятся проверочные измерения чувствительности по поверенной эталонной течи с регистрацией условий; готовится комплект документов для поверки. При необходимости предоставляется консультационная поддержка по настройке порогов, фильтрации сигнала, алгоритмам усреднения и по интеграции прибора в технологический процесс.

Технологический регламент периодического обслуживания

Обслуживание начинается с корректной остановки. После выключения питания течеискатель должен оставаться неподвижным, пока турбомолекулярный насос полностью не остановится; выдержка по времени выбирается с запасом, чтобы исключить разрушение подшипников. Далее снимаются внешние панели и обеспечивается доступ к узлам; визуально оцениваются целостность корпуса, кабельные трассы, состояние разъёмов и уплотнений, проверяется отсутствие следов перегрева и отложений пыли в вентиляционных каналах.

Форвакуумный насос обслуживается по регламенту: сливается отработанное масло через сервисный порт, выполняется промывка свежим вакуумным маслом без применения агрессивных растворителей, заменяется или регенерируется фильтр масляного тумана, проверяется работа газобалластного узла и обратных клапанов. После заправки чистым маслом контролируются предельное остаточное давление и вибрация. Даже при небольшой наработке масло подвержено окислению и влагопоглощению, поэтому его замена рекомендуется по календарю, а не только по часам.

Вакуумный тракт течеискателя проверяется на подсосы. Осматриваются и при необходимости меняются уплотнения на соединениях KF/ISO/CF, ревизуются пневмоклапаны и дроссели, очищаются или заменяются предвходовые фильтры и защитные сетки, контролируется чистота трубопроводов и отсутствие отложений, способных давать медленную десорбцию и «память» гелия.

Масс-спектрометрический анализатор обслуживается с разгерметизацией вакуумного блока по инструкции производителя. Катоды, экстракционные ионизаторы и коллектор очищаются от оксидных плёнок безворсовой ветошью с использованием допустимых спиртов; изношенные катоды заменяются с обязательной проверкой настроек эмиссии и автоматического тюнинга после сборки. Уплотнения вакуумного блока меняются комплектно, чтобы исключить паразитные газовые нагрузки и дрейф нулевой линии.

Встроенная калибровочная течь подлежит регламентной замене при исчерпании ресурса или при уходе расхода за допуск. Узел демонтируется с отключением сенсора температуры, устанавливается новый картридж с проверкой герметичности посадочного интерфейса и корректности термокомпенсации. Если штатная течь выработана, применяется внешний поверенный эталон; после замены проводится цикл стабилизации и контрольное калибровочное измерение.

Заключительная часть ТО включает очистку или замену воздушных фильтров, удаление пыли из отсека электроники, проверку вентиляторов, ревизию кабелей на предмет надломов, фиксацию жгутов для снижения вибрационных нагрузок. Прибор собирается в исходную конфигурацию, проводится контрольный запуск, выдержка до термостабилизации и серия проверок.

Диагностика, настройка и верификация параметров после обслуживания

Перед калибровкой регистрируются фон, скорость восстановления нуля и время отклика на ступеньку потока эталонной течи. Выполняется автонастройка масс-фильтра/квадруполя и проверка профиля пика гелия; отклонения по центровке и ширине пика корректируются в соответствии с сервисной процедурой. Настраиваются пороги браковки, коэффициенты усреднения и фильтрации, выбираются единицы индикации (Па·м³/с и mbar·l/s) и параметры референсного уровня для используемых методик. В щуповом режиме проверяется соответствие чувствительности типовым требованиям производителя на референсном расходе, а также герметичность щуповой линии и отсутствие подсоса на интерфейсе.

Если наблюдается нестабильность нулевой линии, повышенный фон или «длинный хвост» после внесения гелия, анализируется газовая нагрузка: качество масла, корректность балластирования, чистота фильтров и ловушек, наличие «карманов» в тракте. Для приборов с сухими форвакуумными насосами отдельно оценивается компрессионная способность на горячем и холодном ходах и принимаются меры по восстановлению производительности.

Документирование и сопровождение

Все операции фиксируются в сервисном отчёте: перечень заменённых узлов и расходных материалов, результаты диагностик, параметры калибровок, значения фона и чувствительности, указание применённой эталонной течи с её идентификацией и действующими документами. Отдельно оформляется карта измерительных настроек для технологических режимов Заказчика, что ускоряет ввод прибора в работу после сервиса.

Организация поверки после ремонта

После обслуживания «Ликлаб» подготавливает прибор к поверке: стабилизирует режимы, выполняет контрольные измерения по эталонной течи и формирует пакет документов с указанием серийных номеров, дат и условий измерений. Прибор передаётся в аккредитованную лабораторию метрологии, где в соответствии с действующей методикой поверки проверяются чувствительность, погрешность и повторяемость в вакуумном и щуповом режимах, а также соответствие индикации единицам измерения. По возвращении выдаётся свидетельство о поверке или протокол калибровки, результаты вносятся в эксплуатационную документацию, а прибор маркируется с указанием даты следующей поверки. При необходимости «Ликлаб» сопровождает прибор на всех стадиях поверочных процедур и обеспечивает устранение замечаний, если они будут предъявлены.

Настройка под технологический процесс Заказчика

Помимо сервисных операций «Ликлаб» оказывает инженерную помощь в интеграции течеискателя в контур контроля герметичности: рассчитывает требуемую чувствительность, задаёт пороги, время выдержки и скорость сканирования, прорабатывает схемы подключения вакуум-камер, щуповых линий и гелиевого чехла, подбирает фильтры, ловушки и маслоуловители, регламентирует режимы газобалластирования и дегазации. По результатам выполняется обучение персонала, выдаются чек-листы запуска и типовые технологические карты контроля.

Требования промышленной безопасности и охраны труда

Работы проводятся с обязательным заземлением оборудования и соблюдением электрической безопасности. Использование баллонов с гелием требует исправной редуцирующей аппаратуры, защиты от механических ударов и нагрева; рабочие зоны проветриваются с учётом риска вытеснения кислорода. При операциях с вакуумом исключается осевое смятие оболочечных изделий; применяются дистанционные упоры и экраны. Очистка элементов выполняется допущенными средствами без агрессивных растворителей; персонал использует СИЗ глаз и рук, антистатические меры и чистые расходные материалы, исключающие внесение загрязнений в тракт.

Типовые симптомы и инженерные меры по их устранению

Если прибор долго выходит на ноль, первично проверяются масло, газобалласт и чистота входных фильтров; при шумном турбоблоке диагностируются подшипники и балансировка ротора; при «залипании» показаний после подачи гелия ищутся зоны сорбции в тракте и подсосы на интерфейсах. Удлинение времени отклика в щуповом режиме, как правило, связано с завышенным расходом, избыточным внутрилитражом линии или засорением фильтра; снижение чувствительности в вакуумном режиме часто указывает на деградацию катодов или расцентровку масс-фильтра. Все эти сценарии закрываются процедурами, описанными в сервисном регламенте, и подтверждаются контрольными измерениями по эталонной течи.

Комплексный сервисный подход «Ликлаб» закрывает полный цикл обеспечения работоспособности гелиевого течеискателя: корректная остановка и безопасный доступ, обслуживание насосной и вакуумной частей, восстановление масс-спектрометрического анализатора, регламентная замена калибровочной течи, восстановление чистоты трактов, верификация чувствительности, настройка параметров под технологическую задачу и организация поверки в установленном порядке. Такой цикл обеспечивает стабильные метрологические характеристики, продлевает ресурс насосов и анализатора, снижает риски простоя и гарантирует соответствие требованиям Заказчика и действующим нормативам.

Таблица гелиевых течеискателей для выполнения сервисных работ, восстановления и поверки

Тип/модель СИ	№ в госреестре (из текста)	Производитель
Т-34	90871-23	KYKY Technology Co., Ltd. (Китай)
ТИ1-50М «ГелиТест»	90151-23	ООО «НПО “Геликон”», Санкт-Петербург
HLeakDek	95400-25	Anhui Nuoyi Technology Co., Ltd. (Китай)
HELIOT 900	70152-18	ULVAC Inc. (Япония)
UL1000; UL1000Fab; UL5000	50369-12	INFICON GmbH (Германия)
ASM 310	82139-21	Adixen/Pfeiffer Vacuum (Франция)
PHOENIX Quadro / Quadro dry / Magno / Magno dry / Vario	78615-20	Leybold GmbH (Германия)
LDS3000; Modul1000	63679-16	INFICON GmbH (Германия)
ТИ1-50И	58067-14; 58067-19	ОАО/АО «Завод “Измеритель”», Санкт-Петербург
Гелископ-1	36435-07	ФГУП «ЦКБМ», Санкт-Петербург
VS (серия)	66313-16	Agilent Technologies (Малайзия)
MSE (серия)	68915-17	Shimadzu Corporation (Япония)
HLT 570 / HLT570	69548-17; 94218-24	Pfeiffer Vacuum GmbH (Германия)
G861XX (серия)	77140-19	Agilent Technologies LDA Sdn (Малайзия)
LX218	80705-20	INFICON GmbH (Германия)
ТИ1-50	87980-23; 91062-24; 95781-25	ОАО «Завод “Измеритель”» (СПб); ООО «НПО “Измеритель”» (Москва)
ZQJ-Vactron	89824-23	KYKY Technology Co., Ltd. (Китай)
NHJ-600	95163-25	Anhui Nuoyi Technology Co., Ltd. (Китай)
ASM (семейство)	85256-22; 48165-11	Pfeiffer Vacuum / Adixen (Франция)
PHOENIX L300i	65470-16	Oerlikon Leybold / Leybold GmbH (Германия)
МС-4	60980-15	ООО «НПФ “Прогресс”», Санкт-Петербург