Производство вакуумных и опрессовочных камер
Вакуумные и опрессовочные камеры изготавливаются ООО ВАКТРОН на собственной производственной базе с использованием первоклассных материалов и комплектующих.
Вакуумные камеры предназначены для технологических процессов различных типов и находят применение для процессов контроля герметичности, физики и химии поверхностей, микроэлектроники, электротехники (пропитка), приборостроения (напыление), криогенной техники, литья и дегазации полимеров, ракетной техники.
Опрессовочная камеры используется для выдержки изделия в среде гелия при повышенном давлении для проведения высокочувствительного контроля герметичности малогабаритных объектов, не имеющих фланцев подключения.
Предлагаемые камеры проверяются на герметичность согласно ГОСТ 28517-90, с применением гелиевого масс-спектрометрического течеискателя Ulvac Heliot 901W1. Проводится два способа контроля: обдува (локальный контроль сварных швов) и гелиевого чехла (интегральная проверка). Объекты контроля герметичности и результаты контроля фиксируется в протоколе проверки с приложением карты сварных швов и разъемных соединений.
Корпус камеры вакуумной испытательной PE300-03-000
|
Материал корпуса камеры – нерж. сталь.
Материал уплотнений – витон (FKM).
Тип фланцевых соединений – DIN 28404 ISO 1609 для ISO320 и DIN 28403 ISO 2861 для KF25
Тип крепежа – с помощью когтевых струбцин (DIN 28404 ISO 1609) и быстросъемных соединений (DIN 28403ISO 2861).
Внешние поверхности предлагаемых камер подвергаются зеркальной полировке. Внутренняя поверхность вакуумной камеры дополнительно обрабатываются с помощью электрохимполировки.
Корпус камеры опрессовочной PE000-03-000
|
Механическая нагрузка на стенки вакуумной камеры при атмосферном давлении 105 Па не так велика, тем не менее необходим прочностной расчет стенок, поскольку нагрузка может привести к деформации узлов с фланцами, что совершенно недопустимо, так как увеличивает вероятность течей.
Основные характеристики вакуумной камеры
- прогреваемость или непрогреваемость камер, определяющая высоко- или низковакуумную природу камер соответственно;
- объем V и конфигурация — ориентация в пространстве, форма сечения, протяженность, наличие изгибов, выступов и т.п., от которых зависят удобство обслуживания, собственная пропускная способность камеры и время ее откачки;
- рабочий диапазон молекулярных концентраций, задаваемый условиями технологического процесса;
- материал (чугун, сталь, нержавеющая сталь, алюминий, керамика, стекло и т.д.) выбор которого определяет не только магнитные свойства, прочность камеры и ее массу, но и один из важнейших параметров в вакуумной технике — величину удельного потока газовыделения;
- толщина стенки, от которой зависят уровень вибрации, возможность внешнего прогрева, проницаемость для внешних излучений;
- способ и степень обработки внутренних поверхностей;
- температура, до которой и с каким темпом поднятия (снижения) температуры можно прогревать (охлаждать) вакуумную камеру;
- состав остаточного газа, динамика его формирования и удержания;
- количество подсоединений, фланцев, вводов движения, электрических вводов, определяющее вероятность попадания молекул в вакуумную камеру извне через течи в этих подсоединениях.
Типы вакуумных камер
Тип вакуумной камеры и особенности применения |
Изображение |
Вертикальная вакуумная камера с прозрачной крышкой для среднего и низкого вакуумаМатериал корпуса вакуумных камер — нержавеющая сталь, крышки — акриловое стекло, уплотнение крышки — витон. Поток натекания менее 10-6 Па.м3/с. Максимальный объем стандартных вакуумных камер данной серии - 1 м3. |
|
Вакуумные камеры горизонтальные и вертикальные для высоковакуумных примененийКорпус вакуумной камеры и крышки изготавливается из нержавеющей стали, уплотнение крышки — витон, обработка поверхности — электрохимполировка. Поток натекания менее 10-11 Па.м3/с. Температура прогрева до 150 °С. Максимальный объем стандартных вакуумных камер данной серии 2,2 м3. |
|
Сверхвысоковакуумные сферические и цилиндрические камерыВакуумные камеры из нержавеющей стали, обработка поверхности — электрохимполировка. Поток натекания менее 10-12 Па.м3/с. Температура прогрева до 400 °С. Максимальный диаметр стандартных сферических камер данной серии 500 мм, максимальный объем стандартных цилиндрических камер - 0,250 м3. |
|
Модульные вакуумные камерыМодульные камеры представляют собой конструкции, состоящие из следующих компонентов: колпак - цилиндрическая обечайка, цилиндрическая вставка (в этот элемент обычно ввариваются требуемые фланцы), днища и крышки (она устанавливается на цилиндрический элемент, если не используется колпак). Все элементы таких камер изготавливаются из нержавеющей стали, уплотнения - из витона. Поток натекания менее 10-10 Па.м3/с. Температура прогрева до 100 °С. Камеры данного типа выпускаются пяти типоразмеров внутренним диаметром 300, 400, 450, 500 и 600 мм. Они могут трансформироваться в соответствии с меняющимися задачами. |