Микроскопы сканирующие электронные KYKY
Микроскопы сканирующие электронные KYKY представляют собой современное семейство лабораторных приборов для исследования нано- и микроструктур поверхностей, измерения линейных размеров, анализа формы объектов, ориентации элементов структуры и оценки других параметров поверхности. Эти системы предназначены для работы в научных лабораториях, исследовательских центрах, на промышленных предприятиях, в металлографии, материаловедении, электронике, машиностроении и в иных направлениях, где требуется высокодетализированное изображение поверхности и точное измерение геометрических характеристик.
Серия KYKY охватывает несколько модификаций с различным уровнем разрешения, диапазоном увеличения и параметрами предметного столика. Это позволяет подобрать конфигурацию как для стандартных задач производственного контроля, так и для сложных исследований в области микроструктуры, фазового состава, текстуры и морфологии материалов.
Назначение и измерительные возможности
Согласно описанию типа, микроскопы KYKY предназначены для измерений линейных размеров в плоскости XY, а также для определения формы, ориентации и других параметров нано- и микроструктур поверхностей различных объектов. Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY составляет от 0,1 до 500 мкм, а пределы допускаемой относительной погрешности измерений составляют ±3 %.
Для практического применения это означает, что оборудование может использоваться не только как средство визуализации, но и как средство измерений в составе метрологически оформленных исследовательских и производственных процедур. Именно это особенно важно для предприятий и лабораторий, где результаты наблюдения должны быть связаны с количественными параметрами и подтверждены поверкой.
Принцип действия
Работа микроскопов основана на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки электронного пучка по выбранной области поверхности. В зависимости от структуры образца, состава материала, режима сканирования и используемого детектора система позволяет получать детализированную информацию о топографии, морфологии и различиях по контрасту, связанному с составом и физическими свойствами материала.
Максимальное увеличение и разрешающая способность зависят как от модификации микроскопа, так и от типа исследуемого образца и условий исследования. Для пользователя это означает возможность гибко подбирать рабочий режим под конкретную задачу, от обзорного изучения поверхности до анализа тонких структур с субмикронным разрешением.
Конструкция и состав системы
Микроскопы KYKY относятся к стационарным настольным лабораторным приборам. В состав системы входят электронная колонна, вакуумная система, управляющая электроника, набор детекторов и форвакуумный насос. Управление микроскопом осуществляется с помощью внешнего персонального компьютера, на котором установлено специализированное программное обеспечение. Система управления обеспечивает работу всех узлов, сбор данных с детекторов, обработку изображений и хранение результатов.
Исследуемые образцы устанавливаются в вакуумную камеру с помощью различных держателей. Один из стандартных держателей выполнен в виде диска диаметром 12,5 мм с ножкой фиксации диаметром 3,0 мм. Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключаться выносная панель с ручками для оперативного изменения основных параметров.
В зависимости от конфигурации на микроскоп могут устанавливаться различные детекторы и аналитические системы. Среди них детектор вторичных электронов, детектор обратно отраженных электронов, детектор прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, а также специализированные аналитические дополнения, включая систему энергодисперсионного микроанализа, систему волнодисперсионного микроанализа и систему анализа картин дифракции обратно отраженных электронов.
Модификации микроскопов KYKY
Серия KYKY включает пять основных модификаций: EM-6900, EM-8000, EM-8100, EM-8200 и EM-8300. В зависимости от типоразмера камеры образцов модификации могут иметь дополнительные обозначения Standard, Ultra и Pro. Такая линейка позволяет подобрать прибор под задачи разной сложности, от стандартной лабораторной микроскопии до высокоразрешающего электронного анализа.
| Модификация | Исполнения | Основное назначение |
|---|---|---|
| EM-6900 | Standard, Ultra, Pro | Базовый и расширенный уровень электронно-микроскопических исследований |
| EM-8000 | Standard, Ultra | Повышенная разрешающая способность и расширенная камера образцов |
| EM-8100 | Standard | Высокоточное исследование микроструктур |
| EM-8200 | Standard, Ultra | Высокое разрешение и расширенные механические возможности столика |
| EM-8300 | Standard | Максимально высокое увеличение и предельное разрешение в данной линейке |
Метрологические характеристики
В описании типа установлены ключевые метрологические характеристики микроскопов как средств измерений. Именно эти параметры позволяют использовать приборы не только для визуального анализа, но и для измерительных задач, когда требуется подтвержденная точность.
| Наименование характеристики | Значение |
|---|---|
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY | от 0,1 до 500 мкм |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY | ±3 % |
Подробные технические характеристики
Ниже приведены основные технические характеристики различных модификаций микроскопов KYKY. Значения сгруппированы по конфигурациям, приведенным в описании типа.
| Параметр | EM-6900 Standard | EM-6900 Ultra | EM-6900 Pro | EM-8000 Standard | EM-8000 Ultra | EM-8100 Standard | EM-8200 Standard | EM-8200 Ultra | EM-8300 Standard |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Разрешение, нм, не более | 3,0 | 3,0 | 3,0 | 1,5 | 1,5 | 1,0 | 1,0 | 1,0 | 0,9 |
| Диапазон наклона столика, ° | от -5 до +90 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 |
| Перемещение столика по оси X, мм, не менее | 70 | 150 | 80 | 80 | 150 | 150 | 80 | 150 | 150 |
| Перемещение столика по оси Y, мм, не менее | 50 | 150 | 50 | 50 | 150 | 150 | 50 | 150 | 150 |
| Перемещение столика по оси Z, мм, не менее | 45 | 60 | 30 | 30 | 60 | 60 | 30 | 60 | 60 |
| Диапазон вращения столика, ° | от 0 до 360 | ||||||||
| Увеличение, крат | от 8 до 300000 | от 8 до 300000 | от 8 до 300000 | от 8 до 800000 | от 8 до 800000 | от 6 до 1000000 | от 6 до 1000000 | от 8 до 1000000 | от 8 до 2500000 |
| Давление в камере, Па, не более | 1×10-2 | ||||||||
Общие технические характеристики серии
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Напряжение питания переменного тока | 230 ± 23 В |
| Частота питающей сети | 50 ± 2,5 Гц |
| Габаритные размеры, не более | 3000 × 1500 × 2000 мм |
| Масса, не более | от 500 до 750 кг в зависимости от модификации |
| Температура окружающей среды при эксплуатации | от +15 до +25 °C |
| Относительная влажность воздуха | до 65 % |
| Программное обеспечение | KYM SEM, версия не ниже v 1.0 |
| Уровень защиты ПО | Средний по Р 50.2.077-2014 |
Программное обеспечение
Управление микроскопами KYKY, сбор, обработка и хранение данных осуществляются с помощью специализированного программного обеспечения KYM SEM, установленного на внешнем компьютере оператора. Эта программа используется для управления всеми функциями микроскопа, построения измерительных процедур, обработки результатов и хранения данных.
Согласно описанию типа, конструкция микроскопов исключает возможность несанкционированного влияния на программное обеспечение и измерительную информацию. Программное обеспечение не может использоваться отдельно от микроскопа, а средства программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют. Для пользователя это означает стабильность конфигурации и защищенность измерительной части от случайных или несанкционированных изменений.
Поверка и метрологическое сопровождение
Для микроскопов KYKY разработана методика поверки МП 203-30-2023. Документ распространяется на первичную и периодическую поверку всех модификаций микроскопов данной серии. Поверке подлежит каждый экземпляр прибора до ввода в эксплуатацию, после ремонта, а также в процессе эксплуатации в установленный межповерочный период.
Поверка проводится в нормальных условиях окружающей среды при температуре 20 ± 5 °C и относительной влажности не более 65 %. Перед началом работ микроскоп и применяемые средства поверки выдерживают при постоянной температуре не менее одного часа, а сам микроскоп рекомендуется выдерживать во включенном состоянии не менее 30 минут.
Операции поверки
| Операция | Первичная поверка | Периодическая поверка |
|---|---|---|
| Внешний осмотр | Да | Да |
| Подготовка к поверке и опробование | Да | Да |
| Проверка программного обеспечения | Да | Да |
| Определение метрологических характеристик | Да | Да |
| Определение относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY | Да | Да |
| Подтверждение соответствия метрологическим требованиям | Да | Да |
Средства поверки
В методике поверки предусмотрено применение линейных мер периода и высоты TGZ1, TGZ2, TGZ3 с номинальным периодом структуры 3 мкм и допускаемым отклонением от номинального значения ±0,01 мкм. Для контроля условий окружающей среды применяют комбинированный прибор класса Testo 608-H1 или аналогичный поверенный прибор.
Метод определения погрешности
Относительную погрешность измерений линейных размеров определяют методом непосредственного сравнения результата измерений микроскопа с действительным значением меры. В ходе поверки последовательно измеряют периоды линейной меры, а затем рассчитывают относительную погрешность по формуле:
Δi = ((Xэ - Xиi) / Xэ) × 100
где Xэ — эталонное значение периода структуры меры, а Xиi — результат очередного измерения. Результаты поверки признают положительными, если значения относительной погрешности не выходят за пределы ±3 %.
Преимущества серии KYKY
Микроскопы KYKY интересны тем, что в одной линейке объединены модели для разных категорий задач. Пользователь может подобрать решение с требуемым балансом между разрешением, увеличением, ходами столика и объемом камеры образцов. Это делает серию удобной как для исследовательских лабораторий, так и для промышленных пользователей, которым необходимы стабильные измерительные возможности и расширяемая конфигурация.
- несколько модификаций для разных классов задач;
- возможность оснащения аналитическими системами EDS, WDS и EBSD;
- измерительные функции с подтвержденной метрологией;
- работа под управлением ПК и специализированного ПО;
- удобство интеграции в лабораторную инфраструктуру;
- возможность сервисного сопровождения и поверки в России.
Лаборатория Ликлаб как поставщик микроскопов KYKY в России
Лаборатория Ликлаб выступает поставщиком микроскопов KYKY на российском рынке и обеспечивает подбор конфигурации под конкретные задачи заказчика. Для предприятий и научных организаций это особенно важно, поскольку выбор модели электронного микроскопа требует учета реальных задач, размеров образцов, требуемого разрешения, состава аналитических систем и условий размещения оборудования.
При поставке Ликлаб помогает определить оптимальную модификацию серии KYKY, подобрать дополнительные детекторы и аналитические модули, согласовать требования к помещению, электропитанию, вакуумному обеспечению и рабочему месту оператора. Такой подход позволяет избежать ошибок на этапе закупки и сразу ориентировать проект на реальную задачу, а не на формальный подбор по каталогу.
Ликлаб как сервисная организация
Для сложного лабораторного оборудования особенно важно наличие сервисной организации, способной сопровождать установку в течение всего жизненного цикла. Ликлаб обеспечивает сервисное сопровождение микроскопов KYKY в России, включая консультации по вводу в эксплуатацию, помощь в настройке системы, техническую поддержку, диагностику, регламентное обслуживание и сопровождение метрологических процедур.
Это особенно значимо для предприятий, которым необходимо не просто приобрести микроскоп, а получить рабочий инструмент с понятной схемой сопровождения. Наличие поставщика и сервисной организации в одной структуре сокращает время реакции на технические вопросы, упрощает коммуникацию и делает эксплуатацию оборудования более устойчивой.
Кому подходят микроскопы KYKY
Сканирующие электронные микроскопы KYKY могут использоваться в самых разных направлениях:
- металлография и анализ микроструктуры металлов и сплавов;
- контроль поверхностей после обработки и травления;
- анализ электроники и микроэлектронных компонентов;
- исследование порошков, покрытий и керамики;
- материаловедение и научные исследования;
- контроль отказов и дефектов;
- измерение размеров элементов микрорельефа;
- работа в измерительных лабораториях и испытательных центрах.
Микроскопы сканирующие электронные KYKY представляют собой полнофункциональную серию средств измерений и исследовательских приборов для анализа микроструктуры, поверхностей и линейных размеров в широком диапазоне задач. Линейка охватывает несколько модификаций с разрешением от 3,0 до 0,9 нм и с увеличением до 2 500 000 крат, что позволяет подобрать систему от базового лабораторного уровня до высокоразрешающего аналитического комплекса.
Наличие утвержденного типа средства измерений, метрологических характеристик, специализированного программного обеспечения и официальной методики поверки делает серию KYKY особенно интересной для российских лабораторий и предприятий, которым требуется не только качественное изображение, но и измерительная достоверность. Лаборатория Ликлаб как поставщик и сервисная организация в России обеспечивает подбор, поставку, сопровождение и техническую поддержку этих микроскопов, что делает внедрение оборудования более надежным и технологически оправданным.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в