Рабочее место герметизации и контроля герметичности микроэлектронных изделий
Новый подход к организации процесса течеискания на современных предприятиях – это установка рабочего места контроля герметичности на базе гелиевого масс-спектрометрического течеискателя Гелиот.
Комплект рабочего места контроля герметичности разрабатывает компания ООО «Вактрон» и оказывает услуги по поставке, пуско-наладке и обучению работе на приборе.
Комплект оборудования для организации рабочего места включает в себя масс-спектрометрический течеискатель Ulvac Heliot, спиральный насос (3) Ulvac DISL-501 для предварительной откачки тестового объекта, предохранительный клапан (1) на 1.3 атм., исключающий ошибочную подачу высокого давления в тестовый объект, манометр (2), баллоны с гелием (4) и азотом (5) с установленными редукторами для подготовки газовой смеси.
Течеискатель Ulvac Heliot – универсальный современный течеискатель, предназначенный для реализации всех способов масс-спектрометрического контроля герметичности в соответствии с ГОСТ 28517-90.
Приборы ГЕЛИОТ имеют четыре стандартные комплектации
- 901W1, 901D1 – модели со встроенным вакуумным насосом (пластинчато-роторным масляным или спиральным безмасляным), рекомендованы для работы с тестовыми объектами объемом до 5 л,
- 904W2, 904D3 – модели с вынесенным на тележку вакуумным насосом (пластинчато-роторным масляным или спиральным безмасляным), рекомендованы для работы с тестовыми объектами объемом до 50 л.
В случае поиска течи на объектах больших размеров рекомендуется использовать форвакуумный насос большей производительности или проводить течеискание системы, предварительно откаченной с помощью внешней вакуумной системы.
Для проведения контроля течеисканием на рабочем месте контроля герметичности предоставлена партия изделий – 16 электронных плат с герметизированным объемом. Испытания изделий на герметичность проведены в вакуумной лаборатории специалистами компании ООО «Вактрон», аттестованными для проведения течеискания согласно ПБ 03-440-02.
Порядок проверки с помощью рабочего места контроля герметичности на базе гелиевого масс-спектрометрического течеискателя Ulvac Heliot
- Объект через штенгель подключается к откачной системе течеискателя и вакуумируется. Из изделия удаляется влага.
- После достижения давления 0,4 Па и ниже начинаются измерения.
- По помощью обдувателя производится подача гелия на внешнюю поверхность электронной платы. Гелий, проникающий внутрь образца, в случае наличия течей, регистрируется, а его поток измеряется течеискателем. данный способ позволяет локализовать течи.
- Изделие помещается в чехол, который заполняется гелием. Производится интегральный контроль герметичности всего изделия и соединений. Это позволяет избежать пропуска течей, на которые не попал гелий при обдуве.
- После испытаний производится удаление гелия и заполнение определенной концентрацией рабочего газа.
Результаты контроля течеисканием приведены в таблице 1:
Таблица 1. Обнаруженные течи в контролируемых изделиях
|
№ |
Индекс объекта контроля |
Точка истечения |
Описание |
|
1 |
Изделие 1 |
 |
Течи потоком 10-6 –10-7 Па.м3/с. Рекомендуется перепайка обнаруженных мест истечения и последующая проверка течеискателем.
|
|
2 |
Изделие 9 |
 |
Течи потоком 10-6 –10-7 Па.м3/с. Рекомендуется перепайка обнаруженных мест истечения и последующая проверка течеискателем. |
По вопросу изготовления рабочего места контроля герметичности на базе гелиевого масс-спектрометрического течеискателя Гелиот прошу Вас обращаться к специалистам «Вактрон».
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «Лаборатория ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».