Модульный масс-спектрометрический течеискатель Ulvac Heliot Zero
Минимальный достоверно регистрируемый прибором поток гелия составляет 5.10-13 Па.м3/с, эффективная скорость откачки изделия – 5 л/с по гелию. Особенность течеискателя Ulvac Heliot Zero в том, что он обеспечивает указанную чувствительность в режиме противотока. Благодаря этому, камера масс-спектрометрического анализатора всегда защищена от загрязнений и от ударного увеличения давления при срыве объекта.
Модульный гелиевый течеискатель Ulvac Heliot Zero отличается на 30% более низкой стоимостью, относительно интегрального течеискателя со своей форвакуумной системой. Прибор способен осуществлять все способы течеискания, в том числе:
а) Способ гелиевой камеры
Изделие устанавливается на вход течеискателя, его внутренняя часть вакуумируется. С внешней стороны изделия устанавливается герметичная камера, которая сначала откачивается форвакуумным насосом, а потом заполняется гелием до давления в одну атмосферу. Поток гелия, проникающий через течи в изделие, регистрируется течеискателем.
б) Способ вакуумной камеры
Внутренняя область изделия откачивается форвакуумным насосом и подключается к баллону с гелием. Давление гелия в изделии с помощью редуктора на баллоне устанавливается равным одной атмосфере. Изделие закрепляют в вакуумной камере, которая соединена с вакуумной системой гелиевого течеискателя.
Гелий, вытекающий из внутренней части изделия в вакуумную камеру, регистрируется масс-спектрометром течеискателя.