Изготовление вакуумных камер для контроля герметичности
Ликлаб проектирует и производит вакуумные камеры и оснастку для высокочувствительного контроля герметичности по гелиевому масс-спектрометрическому методу, а также для манометрических и комбинированных схем испытаний. Мы берем на себя весь цикл — от инженерного расчёта и 3D-проектирования до изготовления, сборки, аттестации и ввода в эксплуатацию.
Назначение и области применения
- Испытания на герметичность способом вакуумной камеры и гелиевой камеры (локализация и количественная оценка утечек).
- Контроль плотности сварных швов, трубной арматуры, теплообменников, корпусов приборов, криогенных резервуаров, изделий авиакосмоса и ВЭУ.
- Технологические задачи: вакуумная сушка, дегазация, прогрев, «выдержка под вакуумом» перед измерениями.
Типовые решения камер
- Цилиндрические — оптимум по прочности/массе и изготовляемости; вертикальная или горизонтальная компоновка.
- Коробчатые (призматические) — удобная компоновка оснастки и укладки продукции на кассеты/рамы.
- Сферические/смесовой формы — для повышенной устойчивости к внешнему давлению и равномерности напряжений.
- Опрессовочно-вакуумные — камеры с возможностью подачи тест-газа внутрь изделия и эвакуации межобъёмного пространства.
Инженерный подход: от ТЗ до запуска
- Сбор требований: объект контроля, геометрия, целевой класс герметичности, требуемая чувствительность/скорость, режимы (вакуум/наддув), производительность.
- Выбор концепции: форма корпуса (обечайка), тип крышки (люк, панорамная), узлы ввода/вывода изделия, тип уплотнений, интерфейсы с течеискателем.
- Проектирование обвязки: линии откачки и напуска, вакуумные клапаны, ловушки, фильтры, измерительные порты, смотровые окна, вводы питания/сигналов.
- Прочностные и вакуумные расчёты: внешнее давление, устойчивость, прогибы крышек, проводимости трактов, оценка времени откачки и газовой нагрузки.
- Технологичность: маршрут сварки, требования к подготовке кромок, допуски, термообработка/правка, разборка для сервисного доступа.
- Изготовление: резка/гибка, сварка TIG/MIG, механическая обработка фланцев, пескоструй/полировка, сборка и герметизация.
- Проверки и запуск: вакуумные испытания, гелиевая проверка корпусных швов, настройка течеискателя, инструктаж персонала.
Материалы и чистота
- Корпус: нержавеющие стали AISI 304/304L/316L (по требованию — алюминиевые сплавы и углеродистая сталь с внутренним покрытием).
- Внутренние поверхности: шлифование/сатин/электрополировка; требования по низкой сорбции и минимальному газовыделению.
- Сварка: аргонодуговая, провар корня шва, обязательная капиллярная/гелиевая оценка швов.
- Очистка: обезжиривание, ультразвук/промывка, сушка тёплым сухим воздухом или вакуумная; чистая сборка.
Стандарты фланцев и уплотнений
Применяем унифицированные интерфейсы:
- ISO-KF (DN16…DN50) — быстроразъёмные соединения для приборных портов и сервисных линий.
- ISO-K / ISO-F (DN63…DN630) — магистрали откачки и напуска, большие вакуумные окна/люки.
- CF (ConFlat) — металло-металлическое уплотнение для высоких требований к чистоте и долговременной герметичности.
Уплотнения: FKM/FPM (Viton®), EPDM, NBR; при необходимости — медные прокладки CF. Подбор материала ведём под температурный диапазон, совместимость с газами и уровень вакуума.
Обвязка и измерения
- Пакет клапанов (ручные/пневматические), дросселирующие устройства, обратные клапаны, байпасы для ускорения откачки.
- Ловушки: холодные/адсорбционные, маслоуловители, туманоотделители для защиты насосной части и снижения фона.
- Вакуумметрия: Пирани, термоконвекционные, ионизационные (горячий/холодный катод), ёмкостные манометры.
- Порты под контрольные течи и расходомеры для настройки и периодической верификации.
Интеграция с гелиевыми течеискателями
Камеры проектируются для работы со всеми распространёнными течеискателями (стендовыми и передвижными). Поддерживаем режимы:
- Вакуумная камера — изделие снаружи, камера под вакуумом, поиск «наружу → внутрь».
- Гелиевая камера — изделие внутри камеры, внутренний наддув гелием и регистрация через оболочку.
- Комбинированная проверка — локализация + количественная оценка в одной установке.
Безопасность и эргономика
- Межблокировки: «вакуум → разрешение на открытие», датчики положения крышки, аварийный сброс, заземление.
- Экраны/ограждения от внешнего давления, ограничители хода крышек, балансиры/газлифт для тяжелых люков.
- При работе с гелием — вентиляция/контроль атмосферы, исключение накопления в «карманах» помещения.
Контроль качества и приёмочные испытания
- Гидростатическая/пневматическая прочность (по необходимости пониженным давлением/внешним давлением).
- Вакуумные испытания: достижимое давление, скорость откачки, оценка газовой нагрузки.
- Гелиевый контроль корпуса и фланцев (порог по ТЗ, вплоть до 1×10−9…1×10−10 Па·м3/с при CF-уплотнениях).
- Функциональные проверки: работа клапанов, герметичность окна, тест аварийных режимов, проверка вакуумметров.
- Документация: протокол испытаний, паспорт камеры, руководство по эксплуатации, карты ТО.
Пример базовой спецификации
| Полезный объём | от 20 до 2 000 л (индивидуально по ТЗ) |
| Материал корпуса | AISI 304L / 316L, толщина 3–12 мм; по запросу — Al/сталь с покрытием |
| Рабочий диапазон давлений | от атмосферного до 10−3…10−6 Па (в зависимости от конфигурации) |
| Интерфейсы | ISO-KF (DN16–DN50), ISO-K/ISO-F (DN63–DN630), CF (DN16–DN250) |
| Уплотнения | FKM/EPDM/NBR; медь (CF) |
| Смотровые окна | боросиликат/кварц в защитной раме, расчёт по внешнему давлению |
| Откачка | форвакуумный пост (пластинчато-роторный/сухой) + опция турбомолекулярного насоса |
| Измерения | Пирани + иониз.; ёмкостной датчик для атм./малых избыточных |
| Порог течеискания | по ТЗ (типично 5×10−7 Па·м3/с и ниже) |
| Документация | паспорт, РЭ, протоколы испытаний, 3D-модель и чертежи присоединений |
Дополнительные опции
- Сменные кассеты/рамки под изделия, быстросменные вводы.
- Подогрев/прогрев (ТЭН/ИК), контур водяного охлаждения.
- RGA-порт (резервуар под анализатор остаточных газов), порты под эталонные течи.
- Автоматизация: ПЛК, сценарии откачки/напуска, логирование, удалённый доступ.
- Антистатическое исполнение, чистовая сборка для чистых помещений.
Производственный цикл и сопровождение
- Предпроектное обследование и расчёт концепции.
- Технический проект: 3D-модель, спецификация, согласование.
- Изготовление и механосборочные работы.
- Вакуумные и гелиевые испытания на заводе.
- Пусконаладка у заказчика, обучение персонала.
- Гарантийная и постгарантийная поддержка, поставка расходников и ЗИП.
Что получает заказчик
- Камеру, соответствующую ТЗ и готовую к работе с вашим течеискателем.
- Протоколы вакуумных/гелиевых испытаний, паспорт и РЭ.
- Чертежи присоединений и 3D-модель для интеграции в линию.
- Программу ТО и регламент проверки герметичности корпуса.
Чек-лист для технического задания
- Габариты и масса изделия/партии, способ укладки (стеллаж, кассета, подвес).
- Целевой класс герметичности, порог браковки (Па·м3/с, mbar·l/s).
- Режимы: вакуумная/гелиевая камера, комбинированно; необходимость прогрева/охлаждения.
- Требуемая производительность (изделий/час), время цикла.
- Стандарты фланцев и требуемые интерфейсы (KF/ISO/CF, окна, вводы).
- Наличие/модель течеискателя, требования к автоматизации и протоколированию.
- Условия эксплуатации: температура/влажность, требования к чистоте, ограничения по габариту/массе.
Нужна вакуумная камера под вашу задачу? Отправьте нам ТЗ — подготовим концепт, расчёт времени откачки и предложение с фиксированными параметрами чувствительности и производительности.

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».