Сравнительные характеристики гелиевых масс-спектрометрических течеискателей
На основании данных, предоставленных компаниями производителями и поставщиками приборов для контроля герметичности, для удобства потребителей создана сводная таблица технических характеристик современных гелиевых масс-спектрометрических течеискателей.
Производитель |
ОАО "Завод "Измеритель", Россия |
Adixen (Alcatel Vacuum Technology), Франция |
Schimadzu, Япония |
Inficon, Швейцария |
VIC, США |
|
Модель |
ТИ1-50 |
АSM-142 |
MSE-2000R |
UL-1000 Fab |
MS-40 |
|
Минимальный достоверно регистрируемый поток гелия, м3*Па/с. |
Вакуумный способ |
5х10-13 |
5х10-13 |
5х10-12 |
5х10-13 |
1х10-12 |
Способ щупа |
1х10-9 |
1х10-8 |
1х10-9; 1х10-7 на атм. |
1х10-8 |
5х10-8 |
|
Габаритные размеры, мм. |
484х470х392 |
510х428х343 |
529х280х487 |
1068х528х850 |
527x381x356 |
|
Скорость высоковакуумной откачки, л/с. |
60 |
10 |
60 |
30 |
60 |
|
Предельное рабочее давление по входу, Па. |
1000 |
1500 |
2000 |
1500 |
1000 |
|
Вес, кг. |
36 |
56 |
46 |
110 |
39,5 |
|
Материал корпуса | алюминий | пластик | пластик | пластик | алюминий | |
Исполнение |
|
* Лучшие значения характеристик выделены полужирным шрифтом.
** Более высокой чувствительности течеискателя соответствует меньшее значение минимальной регистрируемой течи гелия.