Журнал «Вакуумная техника и технологии» №1 2016
Публикации представляют результаты исследований в области физики вакуума, вакуумметрии, масс-спектрометрии и контроля герметичности. Рассмотрены актуальные вопросы получения вакуума, создания вакуумного оборудования и разработки новых технологических процессов.
Особое внимание уделено вакуумной техники в формировании пленок и покрытий плазменными и смежными методами, изучению свойств покрытий и методам их исследования, новым материалам покрытий, в том числе наноматериалам, новым областям их использования, разработке современного оборудования и технологических процессов и многим другим вопросам.
Темы, связанные с вопросами отраслевой кооперации и сотрудничества в рамках федеральных целевых программ и формирования общей стратегии развития вакуумной техники и технология как самостоятельной высокотехнологичной отрасли производства.
Перечень публикаций
С.Б. Нестеров
Заветы академика С.А. Векшиского
С Б. Нестеров
Лучшие инновационные продукты международной выставки вакуумного оборудования "VacuumTechExpo-2016"
Л. Н. Розанов
Газовыделение воды с внутренних поверхностей вакуумных систем
М.П. Ларин
Крио-термоустановка для проверки работоспособности интегральных схем в диапазоне температур 80-313 К
В.К. Егоров, Е.В. Егоров, М.С. Афанасьев
РФА ПВО при ионно-пучковом возбуждении
А.Кузьмичев, В. Перевертайло, Л. Цыбульский, О. Вольпян
Характеристики потоков энергетических ионов, отраженных от металлических мишеней во время бомбардировки ионами
В А Смирнов С. А. Вашин, Г.Ф. Корепин, А. В. Ермакова, Г.В. Лровненкова, Ю. В. Романова
Оптимизация технологического процесса термодиффузионной сварки при производстве триметалла медь-константан-медь (МКМ)
С А. Вашин, Г. Ф. Корепин, В А. Смирнов
Способ повышения электрической прочности отпаянных ЭВП
В А. Тупик, В И. Марголин, Чу Чонг Шы
Рассмотрение процессов конденсации тонких пленок на потенциальном поле кристаллической подложки
Е.А. Леулин, Е.И. Иконникова
Исследования физики контактного взаимодействия поверхностей и инновационные перспективы результатов
А.Н. Рамазанов, Л.К. Кострин, В.Л. Гончаров, А.А. Лисенков
Характеристики тлеющего разряда, поддерживаемого в парах жидкости
Л.К. Кострин, А.А. Лисенков, А.А. Ухов, А.Н. Рамазанов
Анализ спектров излучения плазмы с линиями различной интенсивности
С.А. Кукушкин, А.В. Осипов
Термодинамика и кинетика гетерогенного синтеза материалов новым методом замещения атомов. Фазовый переход через промежуточное состояние. Нано-SiC на Si - новый материал для микро- и оптоэлектроники
В.Г. Кузнецов, Е.С. Бабушкина
Математическое моделирование распределения температуры под катодным пятном вакуумной дуги
Г.А. Тимофеев, Н.Н. Потрахов
Рентгеновская трубка с фотокатодом
В.А. Гелевер, Е.Ю. Усачев, А.А. Манушкин
Разработка импортозамещающих и импортопревосходяших электронно-рентгеновских микроскопов для нанотехнологий
Е.А. Деулин, С. С. Машуров, А.А. Гаценко
Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме
Ю. В. Панфилов, ДА Колесник, М. 3. Яковлев
Вакуумные методы обработки поверхности с субнанометровой шероховатостью
К.А. Комаров, Д.В. Князев
Прецизионные изменения линейных размеров в условиях вакуума
В. В. Плихунов, Д.М. Петров
Изменение энергетического состояния поверхностного слоя на этапах процесса вакуумной ионно-плазменной обработки
С.А. Бушин
Результаты математического описания кинетики физических процессов газового обмена через малые каналы в миниатюрных разрядниках
О. В. Крысина, В. В. Шугуров, Н.Н. Коваль, Н А Прокопенко
Влияние режимов плазменного ассистирования на характеристики ионно-плазменных MoN покрытий
В.В. Шугуров, НА. Прокопенко
Повышение срока службы деталей из стали 40Х и 12Х с помощью комплексной ионно-плазменной обработки
М.М. Хрушов, И.С. Левин, Е.А. Марченко, В.М. Авдюхина, М.И. Петржик
Влияние на трибологические свойства структуры и технологии получения алмазоподобных углеродных покрытий, легированных металлами VIA группы
А.С. Киселев, А.Е. Полоцкий, Е.А. Смирнов
Особенности применения полупроводниковых лазеров для интерференционного контроля измерения толщины плоских прозрачных объектов
А.С. Киселев, Е.А. Смирнов
Определение коэффициентов аккомодации электронов в плазме гелия и неона
М.С. Клокова, Р.Х. Якубов
Герметичное соединение различных материалов методом диффузионной сварки
А.Г. Садилкин, И.А. Каньшин, А.В. Губарев
Метод определения скоростных и энергетических спектров ионов, эмитированных из пеннинговского ионного источника в составе нейтронной трубки
Е.М. Лукьянченко, В.К. Егоров, В.Н. Руденко, Е.В. Егоров
РФА ПВО спектрометр, построенный на базе волновода-резонатора специальной конструкции
А.С. Бондаренко, А.А. Коломийцев, В.И. Шаповалов
Влияние разогрева мишени на процесс реактивного магнетронного распыления
Е.А. Медведева
Магнетронное распыление как метод создания тонкопленочного катализатора для электрохимических сенсоров
А.А. Ухов, Е.А. Комлев, А.К. Кострин, В.А. Герасимов, Л.М. Селиванов, Е.С. Шутова
Метод оценки температуры мишени магнетрона по спектру излучения
Я.В. Лубянский, АА Бондарев, В.В. Золотарев, А.А. Подоскин, КП. Котляр, АА. Кириленко, Н.А. Берт, И.П. Сошников
Особенности роста пленов AlN при осаждении методом ионно-плазменного распыления
В.Я. Ширипов, Н.Е. Левчук, В.А. Савенко, Е.А. Хохлов
Комплект вакуумного оборудования для производства зеркал лазерных гироскопов и перспективные вакуумные технологии ГК "Изовак"
О.Х. Асаинов, А.А. Баинов, В.П. Кривобоков, А.А. Сидилев
Технология вакуумно-плазменного осаждения тонкослойного покрытия оптического солнечного отражателя
Е.В. Берлин, В.Ю. Григорьев, С.Н. Туренко
Нанесение диэлектрических слоев в плазме индукционного разряда
А.Е. Вязовецкова, В.В. Вязовецков
Прошлое и будущее сверхвысоковакуумных коммутационных устройств
Б.М. Арзыматов, Е.А. Аеулин
Повышение долговечности вакуумных шарикоподшипиков путем контактного массопереноса твердосмазочных покрытий
А.А. Романов, А. В. Серков, Е. С. Хрулева
Влияние технологических параметров плазмохимического осаждения пленок SiO2 на их электрофизические свойства
В. Афанасьев, В.А. Ильин, А.А. Романов, А. В. Серков, А.А. Чигирев
Формирование глубоких мезаструктур на SiC во фторсодержашей плазме
В А Гончаров, А. А. Лисенков, Е.М. Фискин
Напряжение зажигания высокочастотного разряда
В. Карзин, В.В. Смирнов
Зондовые измерения параметров разряда магнетрона
Ю.Ф. Иванов, Н.Н. Коваль, И.В. Лопатин, Ю.Х. Ахмадеев, А.А. Тересов, Е А. Петрикова, В.В. Шугуров, О.С. Толкачев
Вакуумная электронно ионно плазменная обработка алюминия
А.А. Лозован, С.В. Пришепов, С.В. Франгулов, С.С. Александрова, Р.Н. Ризаханов, С.К. Сигалаев
Морфология поверхности пленок при импульсном лазерном осаждении с пространственным ограничением плазмы
А.А. Лозован, С. В. Пришепов, С. В. Франгулов, С. С. Александрова, Р. Н. Ризаханов, С.К. Сигалаев
Массоперенос при абляции с большим углом падения на мишень лазерного луча и малой дистанции мишень подложка
А.А. Лозован, С. Я. Бецофен, А.А. Ашмарин, Б. В. Рябенко, А.Е. Молостов
Фазовый состав и остаточные напряжения в теплобарьерных покрытиях
А.А. Лозован, С. Я. Бецофен, А. С. Ленковец, А.Е. Молостов
Исследование структуры силицидных покрытий на основе Nb-Mo, полученных вакуумно-дуговым напылением
А.М. Фомин
Обзор современных средств измерений молекулярные потоков газа в вакууме
В. Н. Горобей, АМ. Фомин, А. А. Чернышенко
Вакуумметрическая редукционная установка
В.Н. Горобей, К.В. Чекирда, В.А. Шур
Метод воспроизведения единицы давления с помощью газового рефрактомера
В.Н. Горобей
110 лет со дня образования научно-исследовательского отдела государственных эталонов в области измерений давления и вакуума ФГУП "ВНИИМ им. ЛИ. Менделеева"
И. Плишкин
110 лет вакуумметра Пирани
М.Л. Виноградов, А.С. Таланов, А.С. Фадеев
Проектирование рабочего места контроля герметичности
В. Веденеев, Е.В. Жировов
Путь в космос
Е А. Кралькина, П.А. Неклюдова, М. Н. Никонов, В Б. Павлов, А.А. Айрапетов, В. В. Одиноков, Г.Я. Павлов, В.А. Сологуб
Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылении
В.В. Панин, М.В. Лолгополов, П.А. Иракин, В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов, А.В Шубников
Малогабаритные вакуумные установки для проведения исследований, технологического обучения и мелкосерийного производства
В. В. Плихунов, Л.М. Петров, К.В. Григорович
Роль токовых характеристик дугового испарителя в процессе формирования поверхностного композита "металл-покрытие"
В. В. Плихунов, Л.М. Петров
Изменение энергетического состояния поверхностного слоя на этапах процесса вакуумной ионно-плазменной обработки
Скачать журнал: https://www.techeiscatel.ru/media/Vakuumnaia-tekhnika-i-tekhnologiia-2016-zhurnal-VACTRON.pdf