Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
Безмасляная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.
• Разработан для работы в составе систем травления и химического осаждения из газовой фазы
• Закрытый ионный источник с использованием магнитного поля. Мягкая ионизация создаёт меньшую газовую диссоциацию и позволяет обеспечить более высокую чувствительность. В ионизационной камере распад и абсорбция из-за термических реакций сведены к минимуму
• Малое расстояние между технологической камерой и источником ионов позволяет получить быстрый отклик
• Подходит для динамического контроля процессов
• Доступен широкий диапазон рабочих давлений от 1×10-6 до 13 кПа (от 7,5×10-9 до 97,5 Торр, от 1×10-8 до 130 мбар)
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «Лаборатория ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».