Фланцевая арматура стандарта ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500
Фланцевая арматура стандартов ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500 является основой для построения тяжелых вакуумных систем, высокопроизводительных откачных постов и крупных вакуумных камер. Такие фланцы используются в промышленности, научных установках, на стендах контроля герметичности и в технологических линиях, где требуется надёжное разъемное соединение большого диаметра с гарантированной герметичностью на уровне высоких и сверхвысоких вакуумов.
Компания «Ликлаб» поставляет полный комплект фланцевой арматуры ISO: фланцы под сварку, заглушки, центрирующие кольца, зажимные струбцины, а также уплотнительные элементы (шнуры и О-кольца из фторкаучука). Наличие арматуры на складе позволяет оперативно формировать комплекты для сборки вакуумных систем, модернизации существующего оборудования и изготовления новых вакуумных камер из нержавеющей стали с последующей проверкой их герметичности гелиевым масс-спектрометрическим течеискателем.
Область применения фланцев ISO крупного диаметра
Фланцы ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500 применяются в тех случаях, когда стандартных малых соединений KF уже недостаточно, а DN диаметром 100 мм и выше становится технологически оправданным. Типичные области применения:
- вакуумные камеры для испытаний крупногабаритных изделий и узлов;
- подключение турбомолекулярных и бустерных вакуумных насосов большого расхода;
- линейки откачки криогенных резервуаров и систем хранения сжиженных газов;
- технологические установки напыления и плазменной обработки с большими камерами;
- стенды для контроля герметичности крупногабаритной аппаратуры и трубопроводной арматуры;
- специализированные вакуумные стенды для научных и исследовательских задач.
Большой внутренний диаметр фланцев обеспечивает минимальные потери по проводимости и позволяет реализовать высокие скорости откачки при работе с мощными форвакуумными и высоковакуумными насосами.
Типы фланцев и элементов системы ISO
Стандартная фланцевая арматура ISO включает несколько базовых типов элементов, которые используются при построении вакуумной трассы:
- фланцы под сварку (оконечные) для приварки к трубопроводу или патрубку вакуумной камеры;
- заглушки для временного или постоянного закрытия фланцевых портов;
- центрирующие кольца, обеспечивающие правильное позиционирование уплотнения между двумя фланцами;
- зажимные струбцины, фиксирующие соединение и создающие равномерное прижатие по окружности;
- уплотнительные шнуры и О-кольца из фторкаучука (витона) или других материалов в зависимости от среды и температуры.
Фланцы ISO, как правило, выполняются из нержавеющей стали, совместимой с вакуумной техникой, обладают высокой механической прочностью и стойкостью к циклам монтаж–демонтаж. Это особенно важно для экспериментальных вакуумных стендов и агрегатов, где конфигурация системы может часто изменяться.
Материалы и требования к герметичности
Для изготовления фланцев ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500 используются марки нержавеющей стали, устойчивые к коррозии и дегазации при работе в вакууме. Поверхности уплотнительных поясков выполняются с требуемой чистотой обработки, что обеспечивает надёжный обжим эластичного уплотнения и минимизацию микропротечек.
В качестве уплотнительных элементов в системах высокого вакуума обычно применяются О-кольца и шнуры из фторкаучука (витона). Такой материал обладает:
- стойкостью к большинству рабочих газов и технологических сред;
- широким температурным диапазоном эксплуатации;
- низкой газопроницаемостью по сравнению с обычными резинами;
- устойчивостью к многократным циклам термической и механической нагрузки.
При сборке разъемных соединений ISO важно соблюдать чистоту уплотнительного пояска, отсутствие повреждений и загрязнений на поверхностях фланцев и О-колец. Правильно подобранная фланцевая арматура и корректный монтаж позволяют получить герметичные соединения, пригодные для работы в диапазоне от форвакуума до высокого и, в ряде случаев, сверхвысокого вакуума.
Проектирование вакуумных камер на ISO-фланцах
Использование фланцев ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500 открывает широкие возможности при проектировании вакуумных камер и линий. Большие диаметры фланцев позволяют:
- организовывать широкие порты для ввода и вывода газовых потоков;
- обеспечивать удобный доступ внутрь камеры для монтажа оснастки и образцов;
- устанавливать на одном фланце сложные сборки: переходники, распределители, модульные вставки;
- реализовывать мощные откачные ветви для ускоренного вакуумирования крупногабаритных объёмов.
На базе фланцев ISO могут изготавливаться прямоугольные и цилиндрические камеры, адаптированные под контроль герметичности изделий, испытания в вакууме, отработку технологий напыления, плазменную обработку и другие задачи. Компания «Ликлаб» имеет опыт проектирования и изготовления таких камер с последующей проверкой герметичности гелиевым масс-спектрометрическим течеискателем.
Сборка вакуумных систем на базе ISO100–ISO500
Сборка вакуумных магистралей с использованием арматуры ISO строится по модульному принципу. Фланцы под сварку привариваются к трубопроводам, патрубкам резервуаров и корпусам камер, после чего разъемные соединения выполняются через центрирующие кольца, уплотнения и струбцины. Такой подход облегчает:
- ремонт и замену отдельных участков вакуумной трассы;
- модернизацию откачной системы, замену насосов и арматуры;
- врезку дополнительных портов для датчиков, течеискателей, газовых линий;
- адаптацию системы под новые технологические задачи без изготовления полностью нового комплекса.
Высокая повторяемость размеров фланцев по стандарту ISO обеспечивает совместимость с промышленными турбомолекулярными, бустерными и криогенными насосами различных производителей, а также с широким спектром вакуумной арматуры: клапанами, задвижками, дозирующими устройствами, измерительными модулями.
Контроль герметичности и вакуумные испытания
Даже при использовании качественной фланцевой арматуры стандарта ISO100–ISO500 необходимы испытания вакуумной системы на герметичность. В лаборатории «Ликлаб» применяется гелиевое масс-спектрометрическое течеискание для:
- проверки герметичности вновь изготовленных камер и трубопроводов;
- контроля фланцевых соединений после сборки или модернизации системы;
- поиска локальных течей в уплотнениях, сварных швах, переходных узлах;
- оценки соответствия системы требованиям по допустимому потоку утечки.
Испытания позволяют подтвердить соответствие вакуумной установки заданному классу герметичности и обеспечить надёжную работу при эксплуатации, в том числе в составе стендов контроля герметичности изделий, криогенных систем, технологических линий напыления и плазменной обработки.
Комплектация, поставка и сервис от Ликлаб
Компания «Ликлаб» осуществляет поставку фланцевой арматуры ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500 в различных исполнениях: фланцы под сварку, заглушки, центрирующие кольца, струбцины и уплотнительные элементы. По запросу возможно формирование комплектов для конкретных проектов: от простых откачных линий до крупных вакуумных стендов и камер для контроля герметичности.
В дополнение к поставке комплектующих, специалисты «Ликлаб» выполняют:
- консультации по выбору фланцевой арматуры и конфигурации вакуумной системы;
- проектирование и изготовление вакуумных камер из нержавеющей стали с фланцами ISO крупного диаметра;
- монтаж и пусконаладку вакуумных линий с применением ISO100–ISO500;
- испытания на герметичность с использованием гелиевых течеискателей;
- сервисное обслуживание вакуумных установок, модернизацию и расширение функционала систем.
Использование фланцевой арматуры стандарта ISO100, ISO160, ISO320 и ISO500 в сочетании с опытом специалистов «Ликлаб» позволяет создавать надёжные, герметичные и технологически гибкие вакуумные системы, готовые к эксплуатации в промышленности и научно-исследовательских проектах.

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в